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幾種常用的平面度測量方法及缺陷

幾種常用的平面度測量方法及缺陷

发布时间:2018-10-12 15:26????浏览量:
平面度(flatness;planeness),是屬于形位公差中的一種,指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。在傳統的檢測方法中,平面度的測量通常有:塞規/塞尺測量法、液平面法、激光平面幹涉儀測量法(平晶幹涉法)、水平儀/數字水平儀測量法、以及打表測量法。


幾種常用的平面度測量方法及缺陷

 

塞尺測量法,只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時隨地進行平面度的粗測。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由于其精度不高,常規zui薄塞尺爲10um,檢測效率較低,結果不夠全面,只能檢測零件邊緣。
液平面法,基于連通器工作原理,適合測量連續或不連續的大平面的平面度,但測量時間長,且對溫度敏感,僅適用于測量精度較低的平面。
激光平面幹涉儀測量法,zui典型的用法是平晶幹涉法。但主要于測量光潔的小平面的測量,如千分頭測量面,量規的工作面,光學透鏡。
水平儀測量法,廣泛用于工件表面的直線度和平面度測量。測量精度高、穩定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反複挪動儀器位置,記錄各測點的數據,費時、費力,調整時間長,數據處理程序繁瑣。
打表測量法,典型應用爲平板測微儀及三坐標儀,其中優以三坐標儀爲應用zui廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動,按選定的布點測取各測量點相對于測量基准的數據,再經過數據處理評定出平面度誤差。但其效率較低,通常一個樣品需要幾分鍾,離15ppm的期望相差甚遠。

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